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半导体晶圆冷却装置在长时间的使用过程中，也需要对半导体晶圆冷却装置进行必要的检查和维护保养，定期维护有利于半导体晶圆冷却装置制冷效率，同时也有利于延长寿命。
1、检查并且校正半导体晶圆冷却装置温控器，确保温控器正常显示。
2、检查半导体晶圆冷却装置的冷媒量，如果不够，需要及时补充冷媒。
3、对半导体晶圆冷却装置的整个电控系统、主机电路系统做一次彻查，确保正常。
4、试机运行并进行总校正，测试过热度是否正常，各个部件有无异常声音等。
5、清洗半导体晶圆冷却装置的冷凝器/蒸发器，如果水质不是太差的话，建议累积运行半年清洗一次。半导体晶圆冷却装置在长时间运行当中，会有很多水杂质产生，会影响制冷效果以及使用寿命等。
6、检查冷冻油及润滑油系统，如有污染建议对其进行更换，以利压缩机更加自如的运转。
7、对半导体晶圆冷却装置压缩机马达线圈进行测试。
8、检查并且校正半导体晶圆冷却装置的高、低压压力开关，确定高、低压压力在正常范围内。
9、检查干燥过滤器是否正常，有没有堵塞，必要时应予以更换全新的干燥过滤器。
