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在制药化工行业，光刻机用冷水机组是使用较多的制冷设备，常配套用于各种反应釜进行制冷反应，其具备运作平稳靠谱的优势、常见故障少、特性好、震动小，噪音低、便于维护保养、使用期限长等优势。
1、光刻机用冷水机组设备可依据冷载货量的尺寸，能够应用一台设备或几台设备的组成。制冷压缩机能够依据负荷转变 全自动更替运作，自动调节动能，均衡每一个制冷压缩机的时间，大大的增加了使用期限。
2、光刻机用冷水机组蒸发器的铜管选用内，外螺杆式压缩机提升管。铜管的表层含有外螺纹，铜管的外表层光洁、排热效果非常的好。蒸发器行为主体由25mm厚的PE防静电胶皮绝缘层，无冷凝，制冷损害小。
3、光刻机用冷水机组维护系统软件设备包含：制冷压缩机延时启动保护装置、过流保护器、高压低压保护装置、温控器、防寒电源开关、熔断丝电源插头、电子器件时间维护阀门、制冷压缩机过过载保护器、制冷压缩机经常运行保护装置和出现异常标示保证机器设备一切正常运作。
4、智能化的电子计算机自动控制系统，它具备多种多样作用及其纪录常见故障缘故。实际操作简易，服务器联接到开关电源。设备故障率低，性能高，安装操作方便，控制系统可及时，形象化，靠谱地开展调节。
5、设备的冷却器成梯状低肋管，以提升热传导工作能力。铜管表层光洁，可减少压力，便于清理和维护保养。
