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热流仪(Thermal System)提升产物可靠性测试效率的技术路径

 更新时间:2025-03-24 点击量:174

  高低温气流温度冲击系统满足半导体、航天等多场景需求,冠亚恒温高低温气流温度冲击系统AES系列在原有配置的基础上还能接受定制,满足客户需求。

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  一、技术发展趋势

  1. 温控性能突破

  更宽温域:从传统-55~300℃扩展至-100~500℃,支持半导体(SiCGaN)与超导材料测试。

  更快温变速率:制冷技术推动温变速率适配3D封装芯片的瞬时热应力模拟。

  纳米级控温精度:基于量子传感器与AI动态补偿算法,控温精度满足制程芯片的原子级热分析需求。

  2. 多物理场耦合测试

  复合环境模拟:集成振动、湿度、真空模块,满足车规级芯片与航天器件的多维度可靠性验证。

  原位分析技术:结合拉曼光谱、X射线衍射,实时观测材料热变形与微观结构演变。

  2. 模块化与微型化设计

  芯片级测试设备:微型热流罩支持晶圆级在线测试,成本降低。

  可扩展架构:通过更换模块适配不同温域与功能(如添加辐射加热或湿度控制)。

  二、半导体行业应用案例

  13D IC封装热应力测试

  需求:验证TSV(硅通孔)与混合键合结构在-55~150℃循环下的可靠性。

  方案:热流仪以80/min速率完成温度循环,同步监测电阻与形变数据。

  2、车规芯片认证

  需求:满足-40~150℃温度循环、湿热老化等严苛测试。

  方案:多工位热流罩并行测试8ECU,温变速率50/min,湿度精度&辫濒耻蝉尘苍;2%RH

  3GaN功率器件热阻优化

  需求:降低GaN HEMT器件的结到外壳热阻,提升散热效率。

  方案:热流仪结合红外热成像,定位热点并优化封装结构。

  4Chiplet异构集成验证

  需求:验证多芯片模块(MCM)在严苛温度下的信号完整性。

  方案:热流仪在-65~125℃下同步施加高频信号,监测延时与误码率。

  5、制程芯片(2nm)电迁移测试

  需求:评估铜互连线在高温与高电流密度下的寿命。

  方案:热流仪以±0.1℃精度控温,结合四探针法实时测量电阻漂移。

  高低温气流温度冲击系统其技术突破与半导体行业的准确化、集成化需求深度耦合。冠亚恒温等公司正通过持续创新,为全球客户提供更准确的可靠性测试解决方案。