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光刻机制冷机组靠谱操作规范及注意事项

光刻机制冷机组靠谱操作规范及注意事项

　　光刻机制冷机组这是可以提供恒定温度，电流和压力的冷却水设备使用时，应注意以下事项。

　　1.在安装过程中，请检查机器是否损坏，并选择合适的位置进行安装和以后的维护。

　　2.设备的安装地点须是地板，安装垫或地基，且水平度应在范围之内，并且能够承受设备的工作重量。

　　3.单元应放置在室温下，单元周围和上方应有足够的空间进行日常维护。

　　4.在单元的一端，应保留用于清洁冷凝器管束的抽气空间，也可以使用门的开口或其他位置合适的孔。

　　5.当设备以较大功率运行时，选择具有适当管径的水管，冷却系统和冷水系统，并正确连接它们。

　　6.对于普通应用，通过蒸发器和冷凝器的水流速应在范围之间。

　　7.在负载下，水流均应保持稳定。

　　8.所有冷冻水和冷却水管应按照常规方法进行设计和安装。冷冻水泵应位于设备的进水管上，以确保设备中的正压和流量。配管时，应设置减震管，以确保适当的弹性，并在水泵停止时防止蒸发器的水排出。

　　9.应独立于组光刻机制冷机组牢固地支撑管道，以避免对组光刻机制冷机组的组件施加压力。吊架的位置应便于管道对齐。

　　10.为了减少噪音和振动，较好在管道上安装振动隔离器。

　　11.为了经济有效地使用第光刻机制冷机组组，建议请水处理专家分析蒸发器和冷凝器的水质。水质差会导致结垢，影响传热，产生腐蚀沉淀，滋生有机物，影响装置的性能并增加运行和维护成本。

　　12.一般来说，正确的水处理和定期清洁管束可以保持其良好性能。如果不能通过适当的方法改善现有的水质状况，则须使管束具有较大的结垢系数或使用特殊的结构材料。

在操作光刻机制冷机组时，请注意上述事项，这一定会使您受益。